SNU PRECISION
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Core Technology

SNU Precision的先进技术正在开启未来。

产品介绍

CDMS

CDMS

Introduction 在LCD工艺中测量各种线宽
Features 非接触线宽测量
纳米级分辨率,高速测量
结合3D镜头可测量3D CD
测量 Item : Overlay, Hole, PR, Metal, ITO Slit CD 测量
Application TFT Photo 工艺, TFT PECVD 工艺, 其他需要高精度二维表面CD测量的领域