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2021년
03월
대표이사 변경(구병완)
2020년
01월
ISO 45001 인증 획득
2019년
09월
가족친화 우수기업 인증(주관 - 여성가족부)
12월
장애인 스포츠단 운영(CSR)
12월
기업부설연구소 부소재지(화성) 폐지
2018년
02월
창립20주년
07월
대만법인설립 ( 盛帆精密機械有限公司(성범정밀기계유한회사) )
08월
자본금 17,161백만원으로 증자(전환사채전환)
2017년
01월
대표이사 변경(박제순)
02월
기업부설연구소 이전 ( 서울 -> 화성 ( 경기도 화성시 영천로 38 ) )
2016년
01월
특허취득(유기물 증착 장치)
02월
자본금 12,500 백만원으로 증자(유상증자)
03월
코스닥 우수공시 법인 수상
특허취득(비접촉식 프리얼라인 장치 및 방법)
04월
특허취득(박막증착장치)
05월
특허취득(모노머 진공 증착 장치)
특허취득(CIGS 열처리 셀레늄 공급장치 및 공급방법)
09월
특허취득(패턴의 결함 검사 방법)
10월
특허취득(중착용 자성체 검사장치)
12월
최대주주 변경(박희재 -> (주)에스에프에이)
12월
자본금 15,625 백만원으로 증자(유상증자)
12월
대표이사 변경(박희재)
2015년
05월
특허취득(기판 고정 장치)
특허취득(유도가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템)
06월
특허취득(증착 균일도를 향상시키는 증착 용기)
특허취득(분사 유체 흐름 조절이 가능한 진공 증착 장치)
특허취득(마이크로웨이브 가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템)
07월
특허취득(기판 정렬 장치)
특허취득(두께 측정 장치 및 이를 이용한 두께 측정 방법)
특허취득(통합형 형상 측정장치)
특허취득(간섭계를 이용한 진동측정방법)
특허취득(결함 발생 위치 분석 및 결함 발생 회피를 위한 작업 스케줄링 방법)
08월
특허취득(간섭계 스캐닝 동기화 방법)
특허취득(상이한 온도층을 갖는 지지부를 구비하는 진공 증착 장치)
특허취득(간섭계의 스캐닝 동기화 방법)
10월
특허취득(원자층 증착장치)
특허취득(기판 회전 정렬장치)
11월
특허취득(모노머 증착 장치)
12월
특허취득(CIGS 박막 급속 열처리 장치)
2014년
05월
특허취득(기판 고정 장치)
특허취득(유도가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템)
06월
특허취득(증착 균일도를 향상시키는 증착 용기)
특허취득(분사 유체 흐름 조절이 가능한 진공 증착 장치)
특허취득(마이크로웨이브 가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템)
07월
특허취득(기판 정렬 장치)
특허취득(두께 측정 장치 및 이를 이용한 두께 측정 방법)
특허취득(통합형 형상 측정장치)
특허취득(간섭계를 이용한 진동측정방법)
특허취득(결함 발생 위치 분석 및 결함 발생 회피를 위한 작업 스케줄링 방법)
08월
특허취득(간섭계 스캐닝 동기화 방법)
특허취득(상이한 온도층을 갖는 지지부를 구비하는 진공 증착 장치)
특허취득(간섭계의 스캐닝 동기화 방법)
10월
특허취득(원자층 증착장치)
특허취득(기판 회전 정렬장치)
11월
특허취득(모노머 증착 장치)
12월
특허취득(CIGS 박막 급속 열처리 장치)
2013년
01월
특허취득(박막 가공장치)
01월
IR52 장영실상수상(CIGS박막태양전지 양산용 Selenium(셀레니움) 증착시스템)
02월
특허취득(불순물 제거 기능의 광조사부를 구비하는 증착장비)
02월
특허취득(대용량 박막형성용 증착장치)
03월
특허취득(박막두께 측정장치 및 방법)
04월
특허취득(이송 장치)
06월
대표이사 변경(박희재, 박춘재 각자대표)
07월
특허취득(박막 태양전지 및 그 제조방법)
07월
특허취득(주사전자현미경용 빈필터 제어방법 및 전자빔 정렬 기능을구비한 주사전자현미경)
07월
특허취득(평판패널 제조장치)
07월
특허취득(마스크 적재 및 기판 반송 챔버와 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법)
07월
특허취득(태양전지용 광흡수층 박막 급속 열처리장치)
08월
수출기업화 성공사례 공모전 무역보험공사 사장상
08월
특허취득(파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템)
08월
특허취득(박막 태양전지 제조방법 및 이를 이용하는 박막 태양전지)
09월
특허취득(금속 기화현상을 이용한 박막 태양전지 제조방법 및 박막 태양전지)
09월
고려대학교 안암병원과 공동연구개발 및 사업화 협력을 위한 양해각서 체결
09월
한국무역보험공사 Ksure글로벌 성장사다리 인증
10월
특허취득(원료물질 공급 제어장치)
2012년
01월
특허취득(반사도분포곡선의 모델링방법 및 이를 이용하는 두께 측정방법, 두께 측정 반사계)
02월
특허취득(박막 증착 장치용 원료 공급유닛)
02월
특허취득(진공증착장치)
02월
특허취득(박막 증착 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템)
03월
특허취득(비젼 검사시스템 및 이를 이용한 좌표변환 방법)
03월
본점소재지 변경(충청남도 아산시 둔포면 아산밸리남로 124)
09월
특허취득(TSV측정용 간섭계 및 이를 이용한 측정방법)
09월
특허취득(모노머 증착장치)
10월
특허취득(모노머 증착장치 및 모노머 증착장치의 배기방법)
10월
특허취득(증착장치)
11월
특허취득(가이드 롤러 장치)
11월
특허취득(모노머 냉각트랩 및 이를 이용하는 모노머 증착장치)
12월
특허취득(기판 처리 장치)
12월
특허취득(스퍼터링 장치)
2011년
01월
특허취득(진공증착장비)
01월
특허취득(두께 또는 표면형상 측정방법)
02월
특허취득(증착장치 및 이를 이용한 증착방법)
02월
특허취득(유기 반도체 제조장치)
03월
우수제조기술연구센터협회(ATC) 임원(부회장) 위촉
04월
특허취득(영상 센터링 방법)
04월
시화사업장 무재해 3배수 목표달성 인정서(1,080일) 한국산업안전보건공단
05월
2011년 코스닥시장 히든 챔피언 선정(한국거래소)
05월
World Class 300 지원대상 기업 선정(지식경제부)
05월
특허취득(박막 증착 장치)
05월
특허취득(마킹 기능을 가진 레이져 스크라이빙 장치 및 이를 이용한 태양전지 가공방법)
06월
특허취득(평판표시장치의 이물 검사기)
06월
세계적인 강소기업 Hidden Star 500 선정 (KB국민은행)
07월
특허취득(박막형성용 증착장치)
08월
특허취득(원자현미경용 리소그래피시스템 및 방법과 그 시스템에서의 리소그래피용
입력신호 생성장치 및 방법)
08월
글로벌 강소기업 육성대상기업 선정(삼성전자)
09월
특허취득(증발장치 및 박막 증착 장치 및 이의 원료 제공방법)
09월
특허취득(공조점 현미경구조를 이용한 측정대상물의 영상획득방법)
12월
특허취득(박막 증착 장치와 박막 증착 방법 및 박막 증착 시스템)
12월
특허취득(기판 처리 장치 및 방법)
12월
특허취득(3차원 형상 측정방법)
12월
특허취득(유기박막 종착용 도가니 장치)
12월
특허취득(CIGS 박막 급속 열처리장치)
12월
특허취득(화학적 용액 성장법을 이용한 증착장치)
12월
특허취득(원자력 현미경)
12월
특허취득(공초점 현미경구조를 이용한 측정대상물의 영상획득방법 및 시스템)
2010년
01월
특허취득(원료 공급 유닛과 박막 증착 장치 및 박막 증착 방법)
02월
특허취득(광학장치)
03월
특허취득(두께 측정장치)
03월
특허취득(엘시디를 이용한 삼차원 형상 측정장치)
04월
특허취득 (원료 공급 유닛과 원료 공급 방법 및 박막 증착 장치)
04월
자본금 2,516 백만원으로 증자(주식매수선택권 행사)
05월
무재해 목표달성 인정서(730일) 한국산업안전보건공단
05월
품질경영체제인증(시화사업장)
05월
환경경영체제인증(시화사업장)
05월
자본금 2,536 백만원으로 증자(주식매수선택권 행사)
07월
자본금 2,574 백만원으로 증자(주식매수선택권 행사)
08월
자본금 3,262 백만원으로 증자(유상증자)
08월
자본금 9,679 백만원으로 증자(무상증자)
08월
지식경제부 주관 IT산업원천기술개발사업 (5.5세대급 AMOLED 유기증착장비 개발) 선정
09월
안전보건경영시스템인증(아산사업장)
09월
아산테크노밸리 공장부지 확보
10월
특허취득(두께 측정방법)
10월
품질경영체제인증(아산사업장)
10월
환경경영체제인증(아산사업장)
12월
자본금 10,217 백만원으로 증자(유상증자)
12월
대한민국 100대 기술상 수상(한국공학한림원)
12월
아산사업장 무재해 1배수 목표달성 인정서(300일) 한국산업안전보건공단
2009년
01월
에이엔에스(주) 흡수합병 및 계열회사 제외
02월
특허취득(볼 스페이서의 높이 측정방법)
04월
Kibo A+ Members 기업선정(기술보증기금)
05월
삼성전자(주) 혁신기술협의회 회장사
06월
아산사업장 완공
06월
지식경제부 주관 2009년도 신재생에너지 기술개발 협약
07월
지식경제부 주관 스마트프로젝트(차세대 디스플레이분야) 선정
08월
특허취득(암시야 검사장치)
08월
삼성모바일디스플레이(주) 협력회사 협의회(MDP) 회원사
11월
특허취득(증착 물질 공급 장치 및 이를 구비한 기판 처리 장치)
11월
한국거래소 주관 '코스닥 히든챔피언' 선정
12월
특허취득(박막제조 장치 및 박막제조 방법)
12월
지식경제부 주관 '반도체장비 상용화 기술개발 사업' 선정
12월
한국디스플레이 산업협회 장비선진화 위원회 위촉
2008년
01월
한국반도체 및 디스플레이 장비학회 자문위원 위촉
02월
특허취득(비젼 검사 시스템 및 이것을 이용한 피검사체의 검사방법)
02월
특허취득(기판돌기제거장치)
02월
특허취득(기판 지지장치와 이를 이용한 LCD 셀의 씰패턴 검사장치)
02월
특허취득(LCD 셀의 씰 도포장치)
03월
엘지디스플레이 협력회사(베스트클럽) 회원사
04월
특허취득(에어플로팅 장치)
09월
특허취득(플라즈마 모니터링장치)
10월
정보디스플레이대상 산업기술부문 우수상 수상
10월
특허취득(반도체 웨이퍼의 이물검사및 리페어 시스템과 그방법)
10월
특허취득(비전검사시스템및 이것을 이용한 피검사체의 검사방법)
2007년
01월
에스이플라즈마 계열회사 추가
02월
한국광학기기협회 임원(이사) 위촉
03월
삼성전자(주) 협력회사 협의회(협성회) 회원사
05월
미국 Nanometrics사와 SEM(전자현미경) 관련 유무형자산 구입 및 기술이전 계약 체결
05월
특허권양수(전자현미경에서 경사면 측정에 의한 형상이미지 구현방법)
05월
특허권양수(디지털 영상신호 처리과정상의 노이즈 제거기술)
05월
특허권양수(반도체 웨이퍼 층간의 레지스터 측정방법)
05월
특허권양수(하전 입자 빔을 포커싱하는 자기 렌즈)
05월
특허권양수(탄성체 진동판을 포함하는 전자현미경용 저진동 커플링)
05월
특허권양수(두개이상의 반도체 웨이퍼 층에서의 오버레이 레지스트레이션 에러 측정)
05월
특허권양수(주사전자현미경 등을 위한 빈필터)
05월
특허권양수(빈 필터 조립용 구조체)
05월
특허권양수(대전 입자 빔 제어용 스플릿 마그네틱 렌즈)
05월
특허권양수(대전 입자 빔 제어용 정전입자 발생 기술)
05월
특허권양수(주사전자현미경과 그 유사장치에서 빈필터에 의해 발생하는 광행차의 감소)
05월
특허권양수(전자현미경에서 하부컬럼상의 빔 정렬방법)
05월
특허권양수(현미경 얼라인용 구조체)
05월
특허권양수(전자현미경에서 이미지 최적화를 위한 장치 및 방법)
05월
특허취득(빔스플리터를 포함하는 광학장치)
05월
시화사업장 광장 신규취득
08월
한국 디스플레이 산업협회 임원(이사) 위촉
09월
특허취득(레이저빔 가공장치)
2006년
04월
한국벤처기업협회 등록
06월
에이엔에스(주) MOU체결
06월
실용신안권(평판표시장치의 결함검사장치)
06월
제2회 최우수차세대기업상 수상
07월
미국 산호세 소재 기술협력지원센터 입주
07월
에이엔에스(주) 계열회사 추가
07월
초고속성장기업 50 대상 수상
10월
벤처기업대상 산업자원부 장관상 수상
12월
아태 초고속성장기업 500 선정
2005년
01월
IR52 장영실상(한국산업기술진흥협회) 수상
01월
차세대 세계일류상품(산업자원부) 선정
01월
자본금 1,886.5백만원으로 증자(공모증자)
01월
코스닥 상장
02월
자본금 1,943.3백만원으로 증자(전환사채 전환청구)
03월
자본금 1,993.3백만원으로 증자(초과배정옵션 행사)
03월
특허권양수(영상확대기)
03월
특허권양수(종횡확대비가 서로 다른 영상확대기)
03월
의장권양수(카메라용 링플래시)
04월
대한민국 IB대상 최우수 코스닥 IPO부문 증권거래소 이사장상 수상 )
04월
특자본금 2,090.5백만원으로 증자(전환사채 전환청구)
05월
우수제조기술연구센타(ATC) 지정(산업자원부)
05월
과학의 날 과학진흥유공자 표창(과학기술부 장관)
06월
자본금 2,101.2백만원으로 증자(전환사채 전환청구)
06월
자본금 2,111.9백만원으로 증자(전환사채 전환청구)
07월
초고속성장기업50 은상 수상
07월
정보디스플레이대상 산업기술부문 우수상 수상
09월
ISO 9001 / 14001 인증
11월
3천만불 수출의 탑 수상
12월
2005 아태 초고속성장기업 500 선정
2004년
01월
제1회 무보증 사모전환사채 2,000백만원 발행
02월
지점설치(경기도 시흥시 정왕동 시화공단 3바 111호)
03월
CE인증 획득(SIS Scanner Controller, TUV)
03월
공장등록(시화공장, 관악구청)
03월
협회등록을 위한 대표주관회사 선정계약 (동원증권)
03월
사업목적사항 변동 - 주3)
04월
한국디스플레이장비재료산업협회 등록
05월
(사)중소기업기술혁신협회 등록(정회원)
06월
제2회 무보증 사모전환사채 500백만원 발행
06월
제3회 무보증 사모전환사채 500백만원 발행
07월
의료용구제조업 휴업(식품의약품안전청)
08월
(사)중소기업기술혁신협회 임원위촉(부회장)
08월
명의개서 대리인 계약(주식회사 국민은행)
09월
대한민국 은탑산업훈장 수여
09월
제1회~제3회 무보증전환사채 중 일부상환(21억원 상환)
09월
제4회 무보증 사모전환사채 4,000백만원 발행
10월
유가증권발행인 등록(금융감독위원회)
11월
코스닥 등록을 위한 예비심사 통과
11월
벤처기업확인(신기술기업, 서울지방중소기업청)
12월
벤처기업대상(KTB네트워크 사장상) 수상
2003년
07월
수출유망중소기업지정(초정밀측정기, 서울지방중소기업청)
09월
INNO-BIZ기업 확인(등급 A, 중소기업청)
09월
신기술인정(Photo Spacer 형상 측정 기술, 과학기술부)
10월
특허취득(통신 품질 정보 수집 방법과 이를 내장한 컴퓨터가 판독가능한 기록 매체와 이를
이용한 통신 품질분석 시스템 및 그 방법)
2002년
03월
사업목적사항 변동 - 주3)
04월
벤처기업확인(기술평가기업, 서울지방중소기업청)
06월
우량기술기업선정(기술신용보증기금)
07월
자본금 1,536.5백만원으로 증자(제3자배정, 한국산업은행)
11월
벤처기업확인(신기술기업, 서울지방중소기업청)
11월
특허취득(광학측정시스템)
12월
UL®인증 획득(Scanner Controller, Underwriters Laboratories INC.)
12월
중국 법인(YANJI SNU PRECISION CO.,LTD) 지분 양도
2000년
02월
실용신안권(현미경의 모니터 전송용 화상조절장치) - 주1)
02월
대표이사 변동(김신택)
04월
자본금 500백만원으로 증자(주주 배정후 제3자배정)
04월
최대주주 변경(박희재)
05월
사업목적사항 변동 - 주3)
05월
대표이사 변동(조성환)
05월
지점설치(서울 구로구 구로동 197-17 에이스테크노타워 701호)
05월
흡수합병(한라옵티칼엔지니어링 주식회사)
05월
자본금 1,000백만원으로 증자(제3자배정, 합병)
05월
최대주주 변경(조성환)
05월
특허취득(공작기계의 열변형오차 측정 및 보정시스템)
06월
자본금 1,036.5백만원으로 증자(주주 배정후 제3자배정)
07월
본점이전(서울 관악구 봉천7동 1629-2)
07월
기업부설연구소인정(한국산업기술진흥협회)
07월
벤처기업확인(기술평가기업, 서울지방중소기업청)
09월
공장등록(본사, 관악구청)
11월
중국 법인(YANJI SNU PRECISION CO.,LTD) 설립
1999년
04월
실용신안권(근접된 2지점의 영상입력 광학장치) - 주1)
06월
특허취득(빔 합성기와 이를 이용한 2영상 픽업장치) - 주1)
10월
특허취득(간섭상 광학계) - 주1)
12월
자본금 130백만원으로 증자(주주 배정후 제3자배정)
1998년
02월
에스엔유프리시젼 주식회사 설립
02월
서울 관악구 신림동 산 56-1 서울대 신기술창업네트워크
02월
자본금 60.7백만원, 대표이사 김영삼
02월
의장권(영상픽업기) - 주1)
09월
제조업허가(의료용구제조업, 식품의약품안전청) - 주2)
11월
미국특허취득(다축기계의 3차원입체오차 측정방법)
12월
실용신안권(인체관찰 영상 시스템용 절곡팁) - 주1)