CDHT
Introduction | LCD 공정에서 노광량, 코팅량, 엣칭량 등의 공정조건 최적화 위해, 하프톤과 CD 동시 측정함 |
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Features |
1회 측정으로 CD/두께/높이 동시 측정 가능 나노급 분해능, 고속 측정 측정 Item : Halftone 두께, Overlay, Hole, PR, Metal, ITO Slit 선폭 측정등 |
Application | TFT Photo 공정, TFT PECVD 공정, Flexible TFT 기판 PI 두께 측정 |