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CDMS
PSIS
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SIS Series
Evaporation System
TFE
2차 전지 외관 검사기
2차 전지 제조 장비
제품소개
PSIS
CDHT
GPIS
CDMS
SIS Series
Evaporation System
TFE
2차 전지 외관 검사기
2차 전지 제조 장비
CDMS
Introduction
LCD 공정에서의 각종 선폭을 측정함
Features
비 접촉 선폭 측정
나노급 분해능, 고속 측정
3D 렌즈와 접목하여 3D CD 측정 가능
측정 Item: Overlay, Hole, PR, Metal, ITO Slit CD 측정등
Application
TFT Photo 공정, TFT PECVD 공정, 기타 고정밀 2차원 표면 CD 측정이 요구되는 분야