SNU PRECISION
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Core Technology

에스엔유프리시젼의 첨단기술이 미래를 열어가고있습니다.

제품소개

CDMS

CDMS

Introduction LCD 공정에서의 각종 선폭을 측정함
Features 비 접촉 선폭 측정
나노급 분해능, 고속 측정
3D 렌즈와 접목하여 3D CD 측정 가능
측정 Item: Overlay, Hole, PR, Metal, ITO Slit CD 측정등
Application TFT Photo 공정, TFT PECVD 공정, 기타 고정밀 2차원 표면 CD 측정이 요구되는 분야