PSISPhoto Spacer Inspection System
Introduction | LCD 공정에서 정확한 액정 투입량 산정 목적, CF 기판의 PS 또는 TFT 기판의 Bump 높이를 측정함 |
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Features |
비 접촉 3 차원 표면 측정 나노급 분해능, 고속 측정 측정 Item : PS/Bump 높이 및 CD, RGB 단차, COA Via Hole 깊이 및 단차, Overlay 등 |
Application | LCD CF/CELL/TFT 공정, OLED Frit 높이 및 CD 측정, 기타 고정밀 3차원 표면 형상 측정이 요구되는 분야 |